- ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟ ପରିସର: ୧୯୦-୯୦୦nm
- ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟ ସଠିକତା ଏବଂ ପୁନଃଉତ୍ପାଦନକ୍ଷମତା: ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟ ସଠିକତା: ± 0.20nm ରୁ ଭଲ ପୁନରୁତ୍ପାଦନକ୍ଷମତା: 0.06nm ରୁ ଭଲ
- ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ୍: ୦.୨nm ± ୦.୦୨nm,
- ମୂଳରେଖା ସ୍ଥିରତା: ସ୍ଥିର: ମୂଳ ଡ୍ରିଫ୍ଟ,s;;0.003Abs/30 ମିନିଟ୍, ତୁରନ୍ତ, ତୁରନ୍ତ ଶବ୍ଦ,s;;0.0005Abs ଗତିଶୀଳ: ମୂଳରେଖା ଡ୍ରିଫ୍ଟ,s;;0.003Abs/15 ମିନିଟ୍, ତୁରନ୍ତ ଶବ୍ଦ,s;;0.003Abs
- ଜ୍ୱାଳା ଦ୍ୱାରା ଘନ ନିର୍ଣ୍ଣୟ: ଚିହ୍ନଟ ସୀମା ≤0.003 µ ଗ୍ରାମ/ମିଲି
- ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା≤0.03 µ ଗ୍ରାମ/ମିୟୁ1%
- ସଠିକତା≤0.5%
- ରେଖୀୟ ସହସଂବନ୍ଧ ଗୁଣାଙ୍କ ≥0.9998, ରେଖୀୟ ପରିସର≥0.65Abs
ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଦ୍ୱାରା ସିଡି ନିର୍ଣ୍ଣୟ:
- ଚିହ୍ନଟ ସୀମା≤0.5pg
- ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା≤0.6pg
- ସଠିକତା≤2.8%
- ରେଖୀୟ ସହସଂବନ୍ଧ ଗୁଣାଙ୍କ ≥0.9994
ପୃଷ୍ଠଭୂମି ସଂଶୋଧନ:
- 1A ରେ D2 ଲ୍ୟାମ୍ପ ପୃଷ୍ଠଭୂମି ସଂଶୋଧନ କ୍ଷମତା 30 ଗୁଣ ଅପେକ୍ଷା ଭଲ। 1.8A ରେ SH ପୃଷ୍ଠଭୂମି ସଂଶୋଧନ କ୍ଷମତା 30 ଗୁଣ ଅପେକ୍ଷା ଭଲ।